现代社会已进入以电子技术为代表的信息时代，信息产业已成为现代经济的重要支柱产业，电子技术则是信息产业的核心与基础。集成电路、半导体、单晶硅/多晶硅、芯片均属于电子行业范畴。

       在电子行业，超纯水不同于其他行业的超纯水的要求，有极其严苛的水质要求。电子行业的纯水标准有以下几个执行标准：

       ● GB/T11446.1-2013《中国国家电子级水》

       ● JB/T7621-1994《电力半导体器件工艺用高纯水》

       ● ASTM-D5127-2007《美国电子学和半导体工业用超纯水标准》

       其中，《中国国家电子级水》中将电子级水分为四个级别：Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级。

电子级水的水质标准

       ● 电子行业超纯水的应用领域：

       1.主要用于清洗硅片；

       2.少量用于药液配制；

       3.硅片氧化的水汽源；

       4.部分设备的冷却水；

       5.配制电镀液。

       ● 超纯水制备工艺

       根据生产要求对电阻率要求，超纯水可以分为≥16MΩ、≥17MΩ、≥18MΩ三个级别，出水水质要求不同，超纯水制备工艺也各不相同。

       ● ≥16MΩ超纯水制备工艺

       原水→预处理系统→一级RO→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水点（传统工艺）

       原水→预处理系统→一级RO→中间水箱→EDI→纯水箱→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点（最新工艺）

       ● ≥17MΩ超纯水制备工艺

       原水→预处理系统→一级RO→中间水箱(PH调节)→二级RO→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点（传统工艺）

       原水→预处理系统→一级RO→中间水箱(PH调节)→二级RO→中间水箱→EDI→纯水箱→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点（最新工艺）

       ● ≥18.0MΩ超纯水制备工艺

       原水→预处理系统→一级RO→中间水箱(PH调节)→二级RO→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水点（传统工艺）

       原水→预处理系统→一级RO→中间水箱(PH调节)→二级RO→中间水箱→EDI→纯水箱→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点（最新工艺）

       电子行业对超纯水的水质要求特别严格。近年来，超纯水应用技术取得了跨越式发展，重要标志是膜技术的广泛应用。膜技术用于超纯水处理工程，工艺简单、运行维护方便，同时增加终端抛光混床技术，最终保证超纯水的水质稳定可靠。